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无尘烤箱TM330-单槽

  • 产品编号:
  • 产品类别:高温烘箱|烤箱 >> 100级无尘烘箱
  • 产品型号:TM330-单槽
  • 产品备注:
  • 100级无尘烘箱|无尘烤箱|应用于:LCD、CMOS、IC制程烘烤

详细描述

序号

内容

规格

1

电源

AC380V  3∮ 50Hz、三相五线、配制总功率6.5KW

2

技术参数

 

 

内 尺 寸

外 尺 寸

温度均匀度

洁 净 度

W 600mm × D500mm × H1100mm;

W 800mm × D 1150mm × H 1900mm;

100℃±2℃以内、200℃±3℃以内(空炉测试);

Glass 100级;

3

温度范围

RT+30~Max200℃,常温到200℃约需时间60min(空炉测试)  

4

机台结构

采用单门设计,控制箱位于机台上方

 

内部材料

采用SUS304#1.2mm厚镜面不锈钢板,经碱性苏打水清洁,去掉油污避免烘烤时产生灰尘;

 

外部材料

采用SUS201#1.0mm厚拉丝不锈钢板;

 

层架材料

2层,不锈钢材料,采用SUS304#不锈钢

 

保温材料

采用国产优质超细玻璃棉,100K级高密度高保温板填充

 

高效过滤器

采用R14等级的耐温250℃的高效过滤器

5

温度控制器

采用日本“岛电”温度控制器(程序功能,4组程序共40段程式段)

数字显示及设定温度,PID自动演算,温度解析度为0.1℃;

配置RS485数据通讯口

 

 

控温方式

传感器:采用日制进口感温芯片(UST品牌),不锈钢外套;

输出被控制元件:SSR固态继电器输出;

6

循环风机

不锈钢离心风机,120W×2;

7

电加热器

采用定制专用不锈钢加热器

8

气口

(1)使用N2 or Clean air,∮8mm气管;用于置换无尘烤箱内的空气或者人工降温(非自然降温);

(2)自然进气口,∮51mm,在程序结束(恒温结束)自然降温阶段,与排气阀同步开启,同时支持自动开启模式和手动开启模式,默认自动开启模式。

(3)排气口:∮51mm,在程序结束(恒温结束)排气降温阶段,与新风口同步开启,90分钟内温度从80℃降温到50℃。

9

安全装置

漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温保护装置、马达过流保护、蜂鸣器、开门信号开关;

10

选配功能

  1. 温度仪表提供程式功能;( 仪表计时功能——时间为倒计时,程序功能——4组程序共40段程式段)
  2. 电磁锁锁门功能:设备停止运行或恒温结束,新增计时器开始计时(正计时),计时结束(计时的目的:停加热开启排风降温到50℃)才自动解锁,解锁的同时报警提示。在运行中不能解锁;
  3. 自动排气功能:排气阀门在运行中自动关闭排气阀门在结束时自动打开
  4. 主控制仪表报警:温度控制仪表提供上、下限温差报警功能,只报警不能停加热。
  5. 控制面板除电源和运行按钮外,其它操作按钮、控制器等需加防护盖。
  6. 三色警示灯:运行——绿色,故障——红色,结束——黄色;

 

设备输出端子

7)设备后方有电源接线端子排,带有防护盖,方便用户快速安装使用。

8)温度变送输出端子:DC0-10V

9)有3色灯状态、开关门状态无源接点信号输出,满足远程监控需要;

10)在外部有门解锁信号,在外部有开关排气阀信号,满足远程监控需要。

 

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